Técnicas de crecimiento de materiales (AFE-14)

Número de créditos: 10

Horas a la semana: 10

Teoría: 6

Practica: 4

Requisitos: AFB-1, AFB-2, AFB-3, AFE-1

Clave: AFE-14

Asignatura: Especifica

Descripción de la asignatura: El estudiante obtendrá los conocimientos básicos sobre la importancia de los materiales precursores en el material a procesar,  las distintas técnicas de crecimiento de materiales   y como se relacionan sus propiedades fisicoquímicas  del  material  procesado  con  el  método  utilizado  de crecimiento.

Contenidos:

•   Métodos químicos.

•   Tecnología de crecimiento de cristales y preparación de substratos.

•   Tecnología de preparación películas delgadas semiconductoras y aislantes.

•   Otras técnicas.

Índice Temático:

1.   Métodos  químicos.  Sol-gel.  Baño  Químico.  Reacción  en  estado  sólido. Aspersión pirolitica. Deposito químico en fase vapor.

2.   Tecnología  de  crecimiento  de  cristales  y  preparación  de  substratos. Producción de silicio y de otros semiconductores grado electrónico. Método

Czochralsky.   Control   de   estructura,   pureza   y   defectos.   Método   de Bridgman.  Otros  métodos  de  crecimiento  de  cristales.  Corte,  pulido  y limpieza de obleas y otros substratos.

3.   Tecnología de preparación películas delgadas semiconductoras y aislantes. Importancia de las películas delgadas. Teoría sobre el proceso de crecimiento de películas delgadas. Procesos de epitaxia.  Epitaxia en fase líquida (LPE) y epitaxia en fase vapor  (VPE). Técnicas PVD. Epitaxia de haz molecular (MBE) y de haz de iones (IBE), evaporación térmica y con haz de electrones, erosión catódica, ablación láser. Técnicas CVD. CVD térmico, CVD asistido por plasma directo (PECVD) y remoto (RPECVD). Técnicas de rocío pirolítico.

4.   Otras técnicas. Preparación de aislantes en película delgada, dióxido de silicio, nitruro de silicio.

Bibliografía básica:

•   West A.R., Solid State Chemistry and its Applications, John Wiley & Sons, 1984.

•   Cheetham A.K., and Day P., Solid State Chemistry. Techniques, Oxford University Press., 1987.

•   Brinker  C.  J.  and  Scherer  G.  W.,  Sol  Gel  Science.  The  Physics  and Chemistry of Sol-gel Processing, Academic Press, 1990.

•   Sze S.M., VLSI technology, McGraw- Hill, 1988.

•   J. M. Arbelia, A. M, Cintas, Introducción a la ciencia de materiales, Consejo Superior de Investigaciones Científicas.

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